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三星SK海力士试用中国进口氟化氢,减少对日本依赖

2019-07-17

韩国三星公司日前否认了李在镕从日本供应商那里获得了紧急供应的半导体材料,这也意味着在突破日本封锁的问题上,三星等韩国公司又回到了原点,迫切需要寻找日本之外的供应来源。

此前有分析称日韩这次围绕半导体、面板材料的争议有可能让中国公司获益,这事也不是没可能,据韩媒报道三星、SK海力士已经开始测试验证从中国进口的氟化氢材料了。

在日本管制供应韩国的三种材料,氟聚酰亚胺(Fluorine Polyimide)主要用于OLED面板生产、光刻胶则是半导体制造中的核心材料,高纯度氟化氢(Eatching Gas)同样也是半导体工艺生产中的常用材料,用于蚀刻、清洗,700多道半导体工艺中约有50道工艺涉及氟化氢。

前两种材料中日本公司近乎垄断,特别是EUV级别的光刻机还没多少日本之外的公司染指,而从日本进口的氟化氢占了韩国的43.9%,而且半导体制造用的高纯度氟化氢几乎也是100%进口自日本。

不过氟化氢依然可能是个突破口,韩国媒体报道称SK海力士已经开始测试韩国Soulbrain公司供应的高纯度氟化氢材料,而后者又是从中国进口的氟化氢原材料。

除了SK海力士之外,三星据悉也已经在旗下的半导体制造工厂中应用了SoulBrain公司的氟化氢材料。

此外,消息称,三星最近在中国西安、美国德州奥斯丁的半导体工厂都下了大量订单以获得高纯度氟化氢供应。

不过正如之前所说,半导体工艺是极其复杂的,选用任何材料都需要很长时间的验证,更换材料更是要重新测试整套流程,费时费力,不是短时间内可以完成的。

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