近几年，台积电坐稳晶圆代工龙头老大，在先进制程超越三星、英特尔等对手，后来在 EUV（极紫外光）量产也领先，技术上弯道超车英特尔。但台积电前研发副总、浸润式微影之父林本坚日前回忆一段往事，提到台积电早年发展相当艰辛，2002年英特尔号召业界成立EUV LCC联盟，台积电也想加入，但当初只限6家厂商，最后一个名额被IBM抢走，台积电就被排除在外，不过台积电转往浸润式微影技术发展，后来EUV 量产领先，甚至超车当年成立联盟的英特尔。

财讯快报报导，林本坚日前受访时表示，2002年英特尔拉拢摩托罗拉、AMD等公司成立EUV LCC联盟，希望大家共同出资研发EUV设备，并应用于未来的40nm与60nm。当时台积电也希望加入EUV联盟，但因当初只限定6家厂商，IBM抢走最后一个名额，台积电无缘，而被排挤在外。

林本坚表示，台积电无法参与EUV联盟，只好自己想办法，转而研发浸润式（Immersion）微影技术，直到近几年的5nm制程，才采用艾司摩尔的EUV机台设备。当年EUV联盟的半导体企业中，除了英特尔之外，其他5家已退出芯片制造，而截至目前为止，英特尔尚未进入EUV量产，从先进制程技术来看，台积电反而大幅超前，稳居全球晶圆代工一哥宝座。

对于台积电来说，现年79岁的前研发副总经理林本坚是台积电先进技术跃进重要推手，他在IBM工作22年后，选择在美国自行创业将近10年，2000年在蒋尚义力邀下，加入台积电团队，并在2002年开始推动浸润式微影技术，此项技术对全球半导体产业及台积电先进制程贡献极大。