近日，炬光科技在投资者互动平台上表示，公司为荷兰ASML核心供应商A公司提供光刻机用光场匀化器和半导体晶圆退火核心元器件。

据了解，炬光科技成立于2007年9月，主要从事激光行业上游的高功率半导体激光元器件、激光光学元器件的研发、生产和销售。目前聚光科技已发展成为国内实力最强的高功率半导体激光器品牌，拥有共晶键合技术、热管理技术、热应力控制技术、界面材料与表面工程、测试分析诊断技术、线光斑整形技术、光束转换技术、光场匀化技术（光刻机用）和晶圆级同步结构化激光光学制造技术九大类核心技术，产品逐步被应用于先进制造、医疗健康、科学研究、汽车应用、消费电子五大领域。

而炬光科技为ASML供应商提供的半导体晶圆退火核心元器件和光场匀化器可用到半导体制造工艺中的前道工序中。

众所周知，晶圆激光退火是28nm及以下逻辑芯片制造中的关键工艺之一。该工艺采用近红外波段半导体激光光源，通过多组不同功能的激光光学整形系统及光学匀化系统，可以有效做到提升晶圆生产的良品率。

而聚光科技拥有的DLight S系列半导体集成电路晶圆退火系统在能量均匀性和能量稳定性上表现优异，可应用到半导体前道工序中，并完成动态表面退火（DSA）和激光尖峰退火（LSA）两种加工工艺。

另外，炬光科技推出的微光学光束整形产品具备大透镜纵深（大数值孔径）、光场非均匀度低（1％）、高品质材料选择范围广（玻璃、石英、半导体等）等优势，目前已经应用到业界领先的高性能半导体设备制造商中。

并购 LIMO扩大业务范围

值得一提的是，在去年12月23日，炬光科技发布了科创板上市公告书，根据公告书内容显示，炬光科技的重要收入及盈利来源于海外客户，在报告期内，公司主营业务收入中境外收入分别为 21，400．48 万元、18，071．63万元、18，855．15 万元和 9，160．51 万元，占主营业务收入比例分别为 61．38％、54．88％、53．19％和 42．51％。

而炬光科技的境外收入来源于2017年的一场并购。

在2017 年，炬光科技通过并购 LIMO后拥有“调控光子”的技术能力，并通过研发、市场、销售的战略整合，相互结合开始拓展“光子技术应用解决方案”。

据了解，LIMO是一家致力于拓展激光光学元器件的新兴应用领域的公司，主要从事激光光学业务，拥有线光斑整形技术、光束转换技术、光场匀化技术、晶圆级同步结构化激光光学制造技术等多项核心技术。

收购 LIMO 后，炬光科技获得了业务能力上的弥补和扩展，通过将LIMO原有业务激光光学产品线（MO）保留在 LIMO中运营，并在东莞新建产能共同从事激光光学元器件业务；半导体激光产品线（主要是工业应用模块，ILS）转移至西安运营，丰富了炬光科技的高功率半导体激光的产品线；

如今，炬光科技现已形成高功率半导体激光元器件、激光光学元器件、汽车应用（激光雷达）和光学系统四大核心业务领域。

半导体激光和激光光学为主营业务

在报告期内，炬光科技2021 年 1－9 月实现营业收入 34，289．44 万元，同比增长 29．33％，净利润为5439．32万元，同比增长116．22％。其中公司半导体激光业务和激光光学业务分别较上年同期增长 54．68％和 23．86％，为本期业绩增长的主要原因。

（图源炬光科技公告）

目前，半导体激光业务和激光光学业务已成为聚光科技的主要营收业务，2021年1－6月，公司的半导体激光及激光光学业务营收金额分贝为9439．04万元、10076．80万元，分别占比43．8％、46．76％。

其中，炬光科技的激光光学业务典型产品包括光束转换器、光场匀化器等。报告期内，其光场匀化器在光刻应用产品单价分别为22．30万元／件、20．38万元／件、20．87万元／件和20．91万元／件，光场匀化器等相关产品为炬光科技贡献了较大业务收入。

ASML工厂发生火灾

众所周知，炬光科技提供的光场匀化器产品主要是提供给ASML的核心供应商A公司，且已经应用到ASML的核心产品高端光刻机当中生产。

据了解，ASML在当地时间1月3日的时候有部分工厂发生火灾，当时ASML并未公布火灾受损情况。

到了当地时间1月7日，ASML更新了德国柏林的部分工厂内发生火灾的最新情况。

ASML表示，火灾发生在柏林现场的一栋生产大楼的一部分，烟雾部分影响了相邻的大楼。目前已经能够在这些建筑物的部分地区恢复生产。现场的其他建筑物没有受到影响，并已全面投入使用。

尽管ASML对损害的影响评估仍在进行中，但ASML认为：

1．我们的计量和检验输出计划不受影响，因为它们不包含柏林制造的任何组件。

2． DUV组件的制造已重新启动。尽管 DUV 的组件出现了一些中断，但我们希望以不会影响我们 DUV 的产量和收入计划的方式进行补救。

3．关于EUV光刻机，火灾影响了我们 EUV 系统中的一个模块晶圆夹具的部分生产区域。我们仍在完成该生产区域的恢复计划，并确定如何最大限度地减少对我们的 EUV 客户的任何潜在影响，无论是在我们的输出计划还是在我们的现场服务中。

同时，ASML还表示其将在2022 年 1 月 19 日公布 2021 年第四季度和全年业绩，以及对 2022 年的初步看法，预计届时还将提供有关该事件的进一步更新。

这次ASML德国柏林的工厂发生火灾，已经影响到了其光刻机产品重要零部件的供应，ASML或将因此找寻更多的供应商已确保可以及时获取充足的零部件供应，炬光科技子公司或将因此受益。

结语

炬光科技多年来一直为半导体光刻应用领域提供光刻机曝光系统中的核心激光光学元器件——光场匀化器，其产品目前在国内主要光刻机研发项目和样机中也已经有所应用，而国内的半导体设备产业也将因此受益，有效改善国内半导体设备产业的生态环境。