EUV光刻机是半导体制造中的核心设备，只有ASML公司才能生产，单台售价约10亿人民币。价值不菲的光刻机，同时也是个十足的纸老虎，它的耗电量十分惊人，生产一天，大约需要消耗3万度电左右!工作一年就要消耗1000万度电。

据报道，因为今年半导体形势变化，EUV光刻机反而因为耗电太多，台积电计划关闭省电。

来自产业链的消息人士手机晶片达人的消息称，由于先进制程产能利用率开始下滑，而且评估之后下滑时间会持续一段周期，台积电计划从年底开始，将部分EUV 设备关机，以节省EUV设备巨大的耗电支出。

据了解台积电目前拥有大约80台EUV光刻机，主要用于7nm、5nm及以下的先进工艺，今年9月份还会量产3nm工艺，都需要EUV光刻机，然而随着PC、手机、显卡等产品的需求下滑，先进工艺生产的芯片势必会受到影响。

苹果今年的iPhone 14 Pro系列的A16处理器也没有急着上3nm工艺，还在用4nm工艺，此外苹果还因为3nm能效问题，取消了初代3nm生产芯片的计划。

相比之前的DUV光刻机，EUV光刻机需要使用高能激光器，而且光线会多次折射导致损耗极大，早期效率只有0.02%，现在量产的说是可以达到2%效率，但也意味着绝大多数电力都要消耗掉。

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