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MEMS及微机械加速度计可靠性研究
所属分类：技术论文
上传者：bixd
文档大小：143 K
标签：传感器与数据采集
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文档介绍：由于MEMS 器件的应用日益频繁, 其可靠性研究就显得十分重要。介绍了引起可靠性问题的原因。以微机械加速度计为例, 指出了该加速度计的可靠性问题, 以及对其可靠性测试研究的内容。
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