| 如何让MEMS传感器智能化 | |
| 所属分类：技术论文 | |
| 上传者：serena | |
| 文档大小：146 K | |
| 标签： MEMS | |
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| 文档介绍：MEMS（微机电系统）传感器深受运动、加速度、倾斜度和振动测量市场的欢迎。MEMS传感器是系统级封装解决方案，具有高分辨率、低功耗和尺寸紧凑等诸多优点。 MEMS完全不同于主要利用硅的电性质的半导体芯片。MEMS的核心部件没有栅-漏-源三极，而是一个完全由硅制成的微型机械结构。一个典型的MEMS结构包括质量矩滑块、弹簧和阻尼器，工作原理与质量弹簧模型基本相同。前几年，MEMS传感器出现“消费电子化”趋势。MEMS传感器开始渗透到消费电子市场，用于解决各种应用问题。未来，MEMS传感器如何发展？ | |
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