特许机器株式会社技术本部课长董敏璇

       智能产品制造中，作为产品的大脑而使用的IC(半导体集成电路)是必不可缺。而IC是由光刻机等半导体生产设备制造出来的。半导体制造中必须的步进扫描光刻机，光刻机等设备，由超高分辨率投影物镜，极为精密的驱动和高精的控制等机构构成，被誉为“史上最精密的机械”。运用了最尖端的技术所达到和对应的精度是纳米级。而10亿分之1米的纳米，可谓是精密加工的极限。

       而为了确保IC品质，需要导入电子显微镜等检查设备。IC精密加工所需的微振动环境。超过限度的震动会对加工、检查、观察、测试等流程造成不利影响。

       为了防止震动造成危害，需要免震技术、制振技术、防振技术、除振技术共同进行。针对微振动的控制，可以采用磁场主动控制技术，隔绝由地板传来的振动，减小直接的干扰响应，保持各部位置迅速复元。主动控制技术和被动控制技术相比更加稳定，效果更好。