几番折腾、历经三度环评卡关，台积电的中科扩厂案终于在去年2月有条件通过，然而，因原开发规划可能使用或排放的化学物质品项变更，环境差异分析报告需重新送件审议，在11月初步闯关成功后，终于在28日环评委员会通过，宣告扩厂迈开大步，未来可好好冲刺10纳米量产。

攸关台积电10纳米、7纳米制程的中科园区（原大肚山弹药分库）开发案，经四度环评闯关，才在2015年2月，以中科一、二期健康风险评估也纳入中科五期评估下，有条件通过。然而，厂房运作将使用或衍生的化学物质项目与数量拟有所变更，台积电又再重新送件审议，今年11月3日环保署专案小组初审通过，再度送交环评大会，在28日第306次环评大会终于通过此案，宣告尘埃落定。

环差修正通过，据中国台湾地区环境信息协会环境资讯中心报导，环评大会也提出附带要求，中科管理局需定期、不定期查核台积电化学品之使用，台积电也需公开空气、水、废弃物等排污情形。台积电资深处长庄子寿指出，环差案通过，也让目前试运转的台积电10纳米吃下定心丸，台积电将开始拚量产，并表示希望2017年有好消息。

中科园区（原大肚山弹药分库）开发案开发规模在53．08公顷，台积电申请使用面积约32公顷，预计此地晶圆15厂P5、P6厂将于2017年完工，除了导入10纳米量产，7纳米制程官方预计也会安排在此。

台积电南科高雄园区扩建环差变更案也在今年11月底通过环差初审，该扩建案预计斥资5，000亿新台币建新厂，于明年动工，发展5纳米与3纳米制程。