未来可卷曲、如纸一样轻薄的各类终端屏幕主要选材是OLED（有机发光二极管），OLED生产过程最重要的一环就是“蒸”，工艺难度极高。人们常说的有钱也买不到，说的就是它。

据《科技日报》4月26日报道，真空蒸镀机就如同OLED面板制程的“心脏”，被日本Canon Tokki独占高端市场，说其掌握着OLED产业的咽喉也不过分，业界对它的年产量预测通常在几台到十几台之间。

有钱也买不到，说的就是它。

可惜，目前我国还没有生产蒸镀机的企业，在这个领域我们没什么发言权。

Canon TOKKI蒸镀机  图源：中关村在线

1

这台设备就如同生产OLED面板的“入场券”

买到Canon Tokki的设备就如同得到了一张生产OLED面板的“入场券”，Canon Tokki在业内的名声很像顶级光刻机企业ASML，神一样的存在。

仅有300多名员工，却基本垄断了全球真空蒸镀机的供应，每台报价过亿美元，仍然一机难求，排队等货因此成为常态。

据说京东方6代柔性OLED生产线能够提前量产的重要前提就是，拿到了Canon Tokki的真空蒸镀机。

三星之所以能垄断中小尺寸OLED的生产和供货，也是因为有了Canon Tokki的助攻。

蒸镀设备厂商不止一家，Canon Tokki为什么一机难求？因为它量产稳定与技术成熟的优势无人可比。

买到Canon Tokki的设备就能有良品率吗？不然。

中粤金桥投资合伙人罗浩元对科技日报记者说：

蒸镀设备虽然是OLED生产中的关键环节，但一条生产线要实现批量化、高品质的生产，要对整个生产链进行科学管理及整合，确保每一道工序可控、可靠。但是，没有真空蒸镀设备，以上无从谈起。

2

Canon Tokki 把蒸镀误差控制在5微米以内

蒸镀是OLED制造工艺的关键，直接影响着OLED屏幕显示，蒸镀机的工作就是把OLED有机发光材料精准、均匀、可控地蒸镀到基板上。

OLED显示面板中大量应用的有机材料极易受到氧气和水的影响，有机材料间也很容易造成污染，因此，面板的蒸镀一般都是在真空环境下且相互独立进行。

通过电流加热，电子束轰击加热和激光加热等方法，使被蒸材料蒸发成原子或分子，它们即以较大的自由程作直线运动，碰撞基片表面而凝结，形成薄膜，这个过程就是真空蒸镀。

通俗地说，OLED屏幕每个像素都是蒸上去的，除了发光材料，金属电极等也是这样蒸上去的，实际操作非常复杂。

罗浩元说，

Canon Tokki能把有机发光材料蒸镀到基板上的误差控制在5微米内，这是什么概念？1微米相当于头发直径的1％。没有其他公司的蒸镀机能达到这个精准度。

潜心于一个领域20余年，让Canon Tokki拥有不少专利，比如，它很早就将机器视觉应用在设备上。

生产环节中，对准玻璃基板和用作像素模板的细金属网难度很大，利用摄像头追踪，Canon Tokki可将误差范围缩小到人体红细胞大小。

3

这是一场多维度、立体化的综合性突破

就如中国科学院院士、中国科学院物理研究所欧阳钟灿教授所说，中国平板显示全球第一，但大而不强。

我国OLED企业主要聚集在产业链中下游的面板和手机等显示终端产品应用领域，上游核心生产设备完全依靠进口。

当年三星从全球40多家蒸镀机业者选到今天最牛的Canon Tokki，在OLED产业蛰伏期，Tokki遭逢破产危机时，依然全力扶持，这种患难情谊让三星一度独家拿下Canon Tokki的全部产量。

电子创新网创始人、半导体技术专家张国斌对科技日报记者说：

虽然离了Canon Tokki三星也可能玩不转，但三星对产业趋势和技术的判断、把握值得我们反省。

罗浩元比较认同张国斌的观点：

具体到真空蒸镀机这种卡住产业咽喉的核心装备，能不能追，怎么追，从上到下都很迷茫。我国目前的OLED产业布局和推进方式可以让我们短期内形成产业规模，却无法实现高端设备的自主研发、装备能力。这个问题不解决，别说真空蒸镀机，其他OLED装备的突破也将是空谈。

中国电子材料行业协会常务副秘书长袁桐认为，材料或设备并不是单一的产品，它牵涉到面板系统性的工艺和技术，如果只凭配套企业一己之力，可能只能实现某一种材料或设备的国产化替代。罗浩元说：

这是一场多维度、立体化的综合性突破。

OLED的生产难度在精密制造，精密制造的技术壁垒在精密设备。

国内OLED大型生产线装备虽仍一片空白，但OLED科研型蒸镀设备已达国际水平，中试型生产装备已成功研发。“虽然距离摆脱‘真空’有点远，但好歹上路了。”罗浩元说，

真空蒸镀机等核心设备的缺失，反映出我国基础研究、精密加工、自动化控制等多领域的短板。虽然很难，但一代人有一代人的任务，希望我们这一代能生产出真空蒸镀机。

网友热评

@点横竖撇娜：搞了半天京东方6代柔性OLED生产线还差临门一脚啊，这情何以堪啊......这又被掐脖子了

@讲真三星虽然是OLED老大：全产业链全部通吃是真的很困难，然而中国很不幸必须这么做（也很幸运中国有做到的可能）

@天下不公：好文章。回过头来还是那句老话：没有基础，哪来的高精尖？于日本不同，中国制造发展之路一直由“短平快”的思维所引导而长期忽视打基础。“重设计轻工艺，重生产轻材料，重产量轻质量，重整机轻部件，重规模，轻布局”，这就是中国制造的基本发展模式。我国的重大技术装备往往很少采用国产标准件和轴承，为什么——质量不可靠。

日本经济起飞时期，重在打基础，把基础性工业做强做实，尤其是基础材料和制造工艺是重中之重。中国则与之相反——重在拿出产品。从历年国家科技奖获奖项目来看可以看的很清楚：对基础性的产业发展不够重视。日本的尖端大科技并不多见，但整体产业链的均衡发展比中国好得多。这其中包含了日本科学技术非常重视弥补产业的短板。尤其是产业链中的关键设备和工艺研究。这些都值得中国制造借鉴。

@家鸽：蒸镀技术虽然是现在OLED生产的主流技术，但是却不是必不可少的，并且其原理上存在根本缺陷，必须经过材料的气化，限制了良品率的提高和可用材料的范围。无需气化过程的喷墨印刷工艺才是目前各大厂攻关的重点，而日本JOLED的喷墨印刷工艺OLED现在已经可以小批量量产了。如果我国现在投巨资到蒸镀技术，最快也要三五年才能看到成果，那时候怕是国外的喷墨印刷工艺已经成熟了，我们的投入，一研究出来就会变成落后产能。

国产化攻关还是要针对技术变革的前沿，总是跟着国外成熟工艺的屁股后面走，就难以摆脱落后-依赖国外厂商-国产化攻关-落后的循环。

@向后看向前冲：这是使劲自揭疮疤，不过这样好。还有什么是国内没有的呢？一起反省。