据麦姆斯咨询报道，近日，位于英国剑桥的初创公司 Flusso 推出了新款流量传感器 FLS110，尺寸仅为 3.5 mm × 3.5 mm，号称是全球最小尺寸的 MEMS 流量传感器。

　　目前，流量传感器的目标应用主要包括：真空吸尘器、空调机组和其它消费类电器的有源滤波器监测，工业和家用气体检测产品及系统的管道堵塞检测，消费类和工业类应用的气泵监测与控制，以及如智能吸入器、健身监测面罩等便携式医疗设备。

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　　Flusso 的流量传感器利用了 CMOS MEMS 硅基平台，同时还具备额外的可编程性和可配置性。该流量传感器采用微电子技术进行封装和组装，可为每月数千万个部件的制造提供高性能和可扩展性。

　　该传感器在旁路结构中测量流量，测量范围较广，从 0.001 标准升 / 分钟到超过 500 标准升 / 分钟皆可涵盖。同时，该传感器可提供完全温度补偿信号。

　　根据应用需求、设计指南以及应用工程支持，Flusso 提供的固件和软件可配置和定制不同的 FLS110 操作模式，以帮助客户缩短新产品的开发周期。

　　FLS110 集成于 6 引脚 DFN 封装中，经回流焊，由自动产品组装线完成编带和卷盘后发货。

　　Flusso 现已提供 FLS110 样品，并与产品评估套件一起提供。该产品将于 2021 年上半年开始量产。

　　Flusso 成立于 2016 年，从剑桥大学分离出来，致力于开发用于低成本，大批量应用的流量传感解决方案。2020 年中期，Flusso 完成了其严重超额认购的 A 轮融资——570 万美元，而英国和其他许多国家则处于锁定状态。该投资资金将使公司将其 FLS110 流量传感器投入批量生产。

　　由 Florin Udrea 教授（CamSemi、Cambridge CMOS Sensors、Cambridge Microelectronics 以及 Cambridge GaN Devices 的联合创始人）、Julian Gardner 教授（Cambridge CMOS Sensors 和 Sorex 的联合创始人）、John Coull 博士以及 Andrea De Luca 博士共同创立，公司所有传感器专家都具有丰富的半导体行业经验。

　　此外，Flusso 邀请到对经营半导体初创公司具有丰富经验的企业家 Robert Swann 担任董事长，也邀请了前霍尼韦尔安全与生产力解决方案部门技术与合作副总裁 Cleopatra Cabuz 加入公司。

　　该公司曾于 2020 年 6 月获得 570 万美元的 A 轮融资，此轮融资旨在大规模生产 Flusso 号称全球尺寸最小的 MEMS 流量传感器。这轮融资由 Parkwalk Advisors 和 Foresight Williams Technology EIS 基金领投，24 Haymarket、Cambridge Enterprise、Martlet 和 Cambridge Angels 等公司共同跟投。