日本断供光刻胶,国产迎头赶上!
2021-05-28
来源:EETOP
受福岛地震影响,由于KrF光刻胶产能受限以及全球晶圆厂积极扩产等原因,日本信越化学已经向中国大陆多家一线晶圆厂限制供货KrF光刻胶,甚至已通知部分中小晶圆厂停止供货KrF光刻胶,国内多家晶圆厂将会面临KrF光刻胶大缺货的处境。
光刻胶是IC制造的核心耗材,其质量和性能是影响集成电路性能、成品率及可靠性的关键因素,属于高技术壁垒材料,需要长期的技术积累,约占IC制造材料总成本的5%。
据了解光刻胶市场基本被国外巨头垄断。日本合成橡胶、东京应化、信越化学等五大光刻胶厂商占据全球约87%的市场份额,尤其是在高端的半导体光刻胶市场中国更是仅占极少的份额。截至目前,国内能够批量供应KrF、ArF光刻胶的厂商却为数不多。根据SEMI数据,日本几大厂商在g线/i线、KrF、ArF胶市场中市占率分别为61%、80%、93%,而国内g线/i线自给率约为20%,KrF光刻胶的自给率不足5%,12寸硅片的ArF光刻胶目前尚无国内企业可以大规模生产。
虽然此次部分断供势必对国产晶圆代工厂商会产生一定的影响,不过随着国产替代已成为业内共识,我们认为伴随KrF光刻胶、ArF光刻胶研发完毕顺利完成客户验证后,国产光刻胶将真正进入国产替代的高峰期。
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