本期是获得本次“中国光电博览奖”金奖的产品，分别为季华实验室的极大规模集成电路制造装备专用射频电源研发及产业化和苏州慧利仪器有限责任公司的数字化高精度激光干涉仪。

　　季华实验室

　　助力中国提升半导体科技硬实力

　　季华实验室展示项目受到本届中国光博会的推介，其中项目“极大规模集成电路制造装备专用射频电源研发及产业化”经“中国光电博览奖”专家团评审，荣获金奖。季华实验室半导体技术部主任徐平对该项目获此殊荣也表示感谢及肯定。

　　本次金奖获奖企业季华实验室获奖产品JHL-RF 5000 2MHz射频电源

　　JHL-RF 5000 2MHz射频电源

　　该产品是季华实验室旗下的“微波与真空技术研究室”研发团队经一年多的努力，开发出的第二款高端制造专用电源产品，是一种高性能、高稳定、高精确的大功率射频电源：在2MHz频率下稳定输出功率达到 5 kW，基于脉冲模拟、扫频算法、窄带功率传感器及智能双环控制系统设计实现高精度可调制脉冲射频输出；针对功率拓扑、合路输出架构以及冷却系统等方面进行全面优化，直接提升射频电源的稳定性和耐用性。该款大功率高稳定的射频电源作为集成电路制造装备核心零部件之一，广泛适用于等离子体应用，包括等离子刻蚀、等离子增强化学气相沉积、等离子清洗、离子注入等半导体关键工序设备，也可应用在太阳能板、面板制造行业中。未来，微波与真空技术研究室团队将以6kW2.45GHz微波电源及5kW 2MHz射频电源为主打，大力推进半导体行业专用电源的产业化，突破国外技术和设备垄断封锁，推动中国半导体产业的快速发展，为实现中国半导体产业设备国产化做贡献。

　　季华实验室是广东省委、省政府启动的首批4家广东省实验室之一，围绕国家和广东省重大需求，集聚、整合国内外优势创新资源，打造先进制造科学与技术领域国内一流、国际高端的战略科技创新平台。

　　徐主任说3年前，在外奋斗了几十年的他带着创业梦，带着团队从新加坡回到中国，入驻佛山季华实验室，开展基础研发、应用研发和学科建设。“我们团队的目标是沉淀一批自主可控的核心技术，用填补国内空白的首批‘季华’品牌为佛山经济高质量发展添动能，助力佛山制造业高质量发展，助力中国提升半导体科技硬实力。”他接着说道，“简单说，我就是开了一家服务于半导体企业的‘4S店’，扮演者‘修理工’的角色，为半导体大厂提供服务”，“开自己的‘4S’店只是我创业梦的第一步，我想把在国外学习掌握的知识、技术带回中国，在中国‘设厂’，助力中国半导体产业发展。”

　　苏州慧利仪器有限责任公司

　　助力国家光电产业的蓬勃发展

　　苏州慧利仪器有限责任公司代表十分高兴的表示，苏州慧利仪器有限责任公司申报的“数字化高精度激光干涉仪”能够获得首届“中国光电博览奖”金奖，这是团队每一位成员相互协作，齐心协力的共同荣誉，也是各位评审专家以及整个光电产业对苏州慧利仪器产品和技术能力的认可和肯定。

　　该公司领导在受访中表示，“本次能够获得‘中国光电博览奖’金奖也是幸运的。因为有好多团队可能比我们做得更优秀，只是闪光点未能完全展现。展望未来，希望慧利仪器能够和产业内的同行者一道进步，助力国家光电产业的蓬勃发展。”

　　数字化高精度激光干涉仪

　　无应力平面检测干涉仪（数字化相移分析系列）是高性能模块化组合检测干涉仪中的一种，它采用国内外首创的组合式激光干涉仪作为核心部件，主要用于高效检测高精度平面，是苏州慧利仪器有限责任公司新推出的尖端力作。该产品包括光源、主机、成像以及镜头和相移等四大模块，主要技术指标已达到国际一流水平，采用更加简便操作的俯式测量，其拥有极高的绝对测量精度PV和绝对测量重复性RMS，并突破了一等平面平晶限制，且其采样点可达上百万像素，能客观反映被测平面全貌。不仅测量精度高，而且具有极高的测量效率。此款干涉仪可广泛应用高精度光学元件制造、计量检测、生物医学、航空航天、国防、微电子、能源等众多领域，具有广阔的市场前景。

　　现场高效球面检测干涉仪（数字化相移分析系列）是一种高性能模块化组合检测干涉仪，它采用国内外首创的组合式激光干涉模块作为核心部件，主要用于检测高精度快速球面和曲率半径球面面形。通过模块化的设计理念，针对不同的光源、镜头口径、成像方式，不仅在测量过程中拆卸方便，也可适用于多种被测面的测量，大大降低检测成本。通过慧利仪器专用软件，可对被测对象实时采样和分析，并形成2D和3D图形。

　　通用组合水平式检测干涉仪（数字化相移分析系列）是一款高性能模块化组合激光检测干涉仪。它依据可模块化组合的设计理念和通过不同的组合模式，灵活地满足不同的检测需求。进而在结构简单、适用于多种被测面的前提下，使用数字化相移分析方法实现高精度、多功能的检测，从而大大降低检测成本。此款干涉仪解决了被检测对象的不确定与检测系统相对固定之间的匹配问题，以及由此带来的现有仪器实用性受限问题。它不仅实现了干涉测量技术的更新换代，而且填补了制造业和国家质检部门对高精度平面检测设备需求的空白。

　　据悉，苏州慧利仪器是一家致力于光机电软集成和系统设计一体化的光学精密测量仪器公司。将国际领先的光学检测技术产业化和引领光学检测产业的发展潮流是慧利仪器的奋斗目标。慧利仪器团队在光学检测领域具有三十多年的研发和工程化经验，研发总经费数亿元，形成了以光机电软一体化为核心的研发体系。

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　　中国国际光电博览会同期六展覆盖信息通信、激光、红外、紫外、精密光学、镜头及模组、传感等版块，面向通信、消费电子、先进制造、国防安防、半导体加工、能源、传感、照明显示、医疗等九大应用领域展示前沿的光电创新技术及综合解决方案，是行业人士寻找新技术新产品、了解市场先机的一站式商贸、技术及交流平台。