1月6日消息，此前，ASML传出其柏林工厂发生火灾的消息，不过ASML并未公布受损情况。

时至今日，市调机构TrendForce公布了该起火灾的初步调查结果：ASML的32000平方米的柏林厂区中，约有200平方米的厂区受到火灾影响，并且该部分厂区主要负责供应EUV光刻机的光学部分的零组件，所以，这场火灾或将导致ASML的EUV光刻机的交付时间。

目前的光刻机市场里，只有ASML一家企业可以供应EUV光刻机。2021年10月，ASML发布了其Q3财报，总营收为52．4亿欧元（约合人民币390．3亿元），同比增长32．3％，环比增长30．3％；净利润为17．4亿欧元（约合人民币129．6亿元），同比增长64．2％，环比增长67．3％；

ASML总裁Peter Wennink表示，ASML三季度的光刻机订单新增金额62亿欧元，单季EUV光刻机的出货量及营收都创历史新高，其中，EUV光刻机的订单量达到了29亿欧元，目前，ASML主力EUV光刻机是TWINSCAN NXE：3600D，其在客户那里也达到了每小时加工160片晶圆的创纪录效率。

值得一提的是，目前全球性的芯片短缺问题至少将持续到今年年底，而且当前多家芯片代工厂正规划建设更多的芯片制造厂以扩充芯片产能，对于EUV光刻机设备的需求量巨大，如果这次火灾影响到了光刻机的交付，或将对整个半导体产业带来巨大冲击。