本文为企业价值系列之一【成长能力】篇，共选取10家半导体设备企业作为研究样本。

成长能力评价指标有营收复合增长、净利润复合增长、扣非净利润复合增长，以及经营净现金流复合增长，并以近五年经营数据作为参考。数据基于历史，不代表未来趋势；仅供静态分析，不构成投资建议。

从近五年营收复合增长来看，拓荆科技、长川科技、华峰测控、芯源微、至纯科技等5家企业增幅超过50％，其中拓荆科技复合增长达到73．71％。 拓荆科技主要从事高端半导体专用设备的研发、生产、销售和技术服务。主要产品为半导体薄膜沉积设备包括PECVD设备、ALD设备及SACVD设备三个系列。 收入构成上，PECVD设备为主要收入来源，收入占比达到89．11％，毛利率42．64％。

从近五年净利润复合增长来看，中微公司、华峰测控、芯源微、至纯科技、北方华创等5家企业增幅超过50％，其中中微公司复合增长达到160．32％。 中微公司主营业务是半导体设备及泛半导体设备的研发、生产和销售。主要产品有电容性等离子体刻蚀设备，电感性等离子体刻蚀设备，MOCVD设备，VOC设备。 收入构成上，专用设备收入占比79．12％，毛利率37．32％；备品备件收入占比19．43％，毛利率37．64％。

从近五年扣非净利润复合增长来看，华峰测控、至纯科技、华亚智能等3家企业增幅超过20％，其中华峰测控复合增长达到45．10％。 华峰测控主营业务为半导体自动化测试系统的研发，生产和销售。主要产品为半导体自动化测试系统及测试系统配件。 收入构成上，测试系统为主要收入来源，收入占比达到92．95％，毛利率80．16％。

从近五年经营净现金流复合增长来看，中微公司、华峰测控、华亚智能等3家企业增幅超过50％，其中华亚智能复合增长达到51．47％。 华亚智能主要从事高端精密金属零部件的研发、生产和销售。 收入构成上，精密金属结构件为主要收入来源，收入占比达到98．29％，毛利率39．40％。

半导体设备企业成长能力

注：成长能力榜单中，各项指标得分按照10／10的比例换算得出，综合得分为各项指标的平均值。如某个指标有数值，但没有得分（即表格为空格），则该指标权重会下降。