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加速度传感器原理

2008-05-23
作者:MEMSIC

MEMSIC器件是基于单片CMOS集成电路制造工艺" title="制造工艺">制造工艺而生产出来的一个完整的双轴" title="双轴">双轴加速度测量系统" title="测量系统">测量系统。就像其它传感器" title="加速度传感器">加速度传感器有重力块一样,MEMSIC器件是以可移动的热对流小气团作为重力块器件,通过测量由加速度引起的内部温度的变化来测量加速度。

 

 

加速度传感器原理.pdf

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