FSI国际再次收到一家砷化镓代工厂对POLARIS? 光刻系统的订单
2008-11-26
作者:FSI国际有限公司
美国明尼阿波利斯(2008年11月)--全球领先的微电子制造表面处理和显微光刻设备供应商FSI国际有限公司(纳斯达克:FSII),日前宣布再次收到POLARIS?显微光刻系统订单,该订单来自一家领先的砷化镓" title="砷化镓">砷化镓(GaAs)器件代工厂" title="代工厂">代工厂。这一订单代表了GaAs客户数量不断增长的趋势,他们选用POLARIS,缘于该系统的卓越性能加上公司在敏感砷化镓底材处理方面的15年经验。
“随着宽带无线" title="宽带无线">宽带无线和有线通信市场器件制造商数量的快速增长,我们感受到他们对POLARIS系统兴趣的不断提升,”FSI董事长兼首席执行官Don Mitchell说道。“POLARIS产品的灵活性允许我们的客户在同一系统上处理多种尺寸的GaAs和氮化镓(GaN)底材,而无需更换硬件或软件。这种可同步处理多种晶圆" title="晶圆">晶圆尺寸的能力在不影响工艺性能的同时,将灵活性提高到更高水平。”
预计宽带无线和有线通信器件供应商的订单将有所增长,FSI将重点放在进一步扩展这一重要市场。
FSI POLARIS显微光刻系统可为尺寸在100mm 和300mm之间的晶圆提供附着剂和光阻涂布、烘干、冷却和工艺开发。POLARIS 系统以其庞大的安装量,为包括薄膜磁头、生医设备以及GaAs在内的多种应用和行业提供服务。此外,公司推出的支持服务包括了产品及工艺的提升,从而延长已安装的FSI设备的使用寿命" title="使用寿命">使用寿命,使全世界客户的资本投资获得更高的回报。
关于FSI:
FSI国际有限公司是一家为微电子制造提供表面处理设备技术及支持服务的全球性的供应商。通过使用公司产品组合中的多晶圆批量和单晶圆的浸泡式、旋转喷雾式、汽相和超凝态过冷动力学等一整套清洗技术产品,客户能够实现他们的工艺性能、灵活性和生产能力目标。公司推出的支持服务项目包括了产品及工艺的提升,从而延长已安装的FSI设备的使用寿命,使世界范围内的客户的资本投资获得更高的回报。
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