全国首个MOR核心技术 国产EUV光刻胶启动
9月8日消息,EUV光刻机是制造5nm以下工艺的关键设备,同样重要的还有EUV光刻胶,现在无锡宣布国内首个掌握EUV光刻胶核心技术的平台启动了。
发表于:2025/9/9 上午9:23:21
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发表于:2025/9/9 上午9:02:00
9月8日消息,EUV光刻机是制造5nm以下工艺的关键设备,同样重要的还有EUV光刻胶,现在无锡宣布国内首个掌握EUV光刻胶核心技术的平台启动了。
发表于:2025/9/9 上午9:23:21
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