基于FPGA的晶圆级芯片封装图像序列配准方法的设计与实现*AET-电子技术应用-最丰富的电子设计资源平台

基于FPGA的晶圆级芯片封装图像序列配准方法的设计与实现*
所属分类：技术论文
上传者：wwei
文档大小：4675 K
标签：晶圆级芯片封装图像配准 FPGA
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文档介绍：针对未切割晶圆进行封装后的晶圆级芯片封装（WLCSP），12英寸晶圆以1 μm物理分辨率进行自动光学检测（AOI）面临大幅面、高质量成像和成像速度的技术挑战。晶圆全局图像需由多幅扫描生成的局部图像序列拼接而成，为实现图像序列的高质量、高速配准，在FPGA中采用OpenCL实现相位相关法进行四邻域棋盘配准。首先在构建二维FFT和互功率谱函数内核的基础上，采用双端口缓存和行缓存的设备全局内存对计算过程的频谱数据进行复用并应用内核通道级联提高配准速度，基于最小生成树优化配准结果降低全局图像坐标计算的累积误差，并经实际扫描图像验证配准算法及加速性能。
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