事件：4月28日，公司发布2022年一季报，22Q1公司实现营收3．54亿元，同比＋28．5％；归母净利润431万元，同比－88．6％。

疫情致设备收入确认延期，22Q1业绩短期承压。公司22Q1实现营收3．54亿元，同比增长28．9％，低于预期，主要受疫情以及厂务端进展延期等因素影响，公司部分交付设备未能及时在一季度确认收入所致。利润方面，公司22Q1实现归母净利润431万元，同比下降88．6％；实现扣非后归母净利润2360万元，同比下降24．98％；主要原因为1）公司维持高研发投入，22Q1研发费用率同比上升近5 pcts至22．75％，2）非经常性损益部分，公司间接持有中芯国际科创板股票导致公允价值受益同比减少1771万元。

在手订单充沛，2倍超前采购储备原材料。22Q1公司经营活动产生现金流量净额－1．26亿元，同比减少247％；其中购买商品、接受劳务支付的现金5．3亿元，相较去年同期2．3亿元，实现近翻倍增长。当前高景气背景下，供不应求已从半导体设备行业向上游蔓延，多类零部件交期延长。从现金流变化我们可以看见公司正积极储备原材料及备件，以应对下游晶圆厂旺盛需求。此外，从采购角度看，公司2021年采购总额18亿元，相较当年8亿元的材料成本，依旧采取2倍超前采购策略，侧面印证公司在手订单充沛。

镀铜和炉管收入放量，平台化战略赋能长期成长。电镀设备方面，公司2月宣布获得21台电镀铜设备订单，其中前道ECP map设备10台，随着产品交付及后续重复订单突破，公司电镀设备将对2022及之后的收入增长形成较大贡献。炉管设备方面，公司去年出货的7台demo机，预计将在今年确认收入，后续重复订单也在积极推进中；研发上，今年公司也将推出两种ALD炉管设备，继续公司赋能长期成长空间。

盈利预测：我们预计公司2022－2024年营业收入26．2／39．7／53．7亿元，归母净利润4．0／6．4／8．5亿元，维持“推荐”评级。

风险提示：（1）下游晶圆厂扩产不及预期；（2）疫情影响上游供应链及产品出货；（3）产品研发及市场推广不及预期。