韩国半导体大厂相继开启氖气回收计划
回收率超70%
2024-04-16
来源：科创板日报
《科创板日报》15日讯，据韩国业界消息，韩国半导体巨头三星电子、SK海力士正利用氖气回收技术，以实现可持续发展，并降低成本、减轻供应风险。SK海力士近日宣布与韩国气体供应商TEMC合作，在氖气回收方面取得突破。三星电子也紧随其后，计划在2025年将氖气回收技术整合到其制造工艺当中。氖气用于半导体光刻中激发激光，通过利用装置收集废气，SK海力士与TEMC实现了72.7%的氖气回收率，并计划将效率进一步提升至77%。
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