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KLA-TENCOR 推出用于测量等离子室效应的 PLASMAVOLT X2

2008-10-20
作者:KLA-Tencor公司
 

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KLA-Tencor SensArray 分部高级副总裁兼总经理 Larry Wagner 表示:“PlasmaVolt X2 是对我们的 SensorWafer 系列的重要补充,现在,工程师能够在等离子室内获得独一无二等离子效应相关的晶圆级" title="晶圆级">晶圆级的指纹特征。PlasmaVolt X2 是现今唯一可用的晶圆级等离子状况测量方式。” 

 

今天的蚀刻工程师面临着匹配蚀刻室以在整个工具集内获得一致性能的严峻挑战而蚀刻性能则取决于对众多工艺参数的控制包括等离子均匀度。随着半导体行业向高级设计规则迁移,制程时间窗口持续缩短,这让等离子对参数的细微变化越来越敏感。目前,需要在产品或样本晶圆上频繁地测量蚀刻率和均匀度,此程序可能长达 12 小时。在工程师无法看到蚀刻序列中其它步骤的情况下,这种晶圆测试为整个蚀刻流程仅产生一个结果。  

 

PlasmaVolt X2 可测量等离子室中的晶圆上效应并提供整个蚀刻流程中关于等离子行为的详细信息。测量后可立即得到结果,将获取结果的时间缩短了几个小时。有了这些完整的等离子室信息,蚀刻工程师现在将能比较整个晶圆厂内的等离子室,并进行必要的工艺调整。在机台监控、机台检验及工艺开发应用方面,PlasmaVolt X2 搭配 KLA-Tencor 专为温度测量而设计的 PlasmaTemp G4,成为有效映射完整等离子室的最佳工具。 

 

关于 KLA-TencorKLA-Tencor 公司是专为半导体和相关微电子行业提供工艺控制及良率管理解决方案的全球领先供应商。该公司总部设在美国加州的 Milpitas,销售及服务网络遍布全球。KLA-Tencor 跻身于标准普尔 500 强公司之一,并在纳斯达克股票市场上市交易,其股票代码为 KLAC。有关该公司的更多信息请访问 http://www.kla-tencor.com(KLAC-P) 

 

PlasmaVolt 和 SensorWafer 是 KLA-Tencor 公司的商标。 

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