近日，国内半导体企业与ASML的合作接连传来好消息。继近日晶瑞股份成功ASML XT 1900 Gi型光刻机之后，国内第三代半导体企业英诺赛科亦与ASML签署了购买协议。

　　2021年1月21日，英诺赛科和ASML达成批量购买高产能i-line和KrF光刻机的协议，用于制造先进的硅基氮化镓功率器件。

　　资料显示，英诺赛科科技有限公司成立于2015年12月，是一家致力于第三代半导体硅基氮化镓芯片制造的企业。公司成功建成投产全球首条200mm硅基氮化镓晶圆与功率器件量产生产线，主要产品包括200mm硅基氮化镓晶圆及30V-650V氮化镓功率器件。英诺赛科产品的设计与性能均达到国际最先进水平，并已广泛应用于PD快充、立体（3D）相机、移动电子设备（包括智能手机、笔记本电脑、平板电脑）等领域。

　　ASML是全球芯片制造设备领导厂商，其生产的XT400和XT860的i-line和KrF经过升级，能够在硅基晶圆上制造氮化镓功率器件。据悉，ASML的i-line和KrF光刻机能提供最卓越的性能、市场上最高的生产效率以及最低的成本。双工件台技术架构已经成为全球300mm和200mm晶圆量产生产线中的先进光刻技术代表 。

　　英诺赛科将在今年第二季度搬入首批光刻机，这是第三代半导体领域首次量产应用先进的ASML TWINSCAN（双工件台）光刻技术，这一实施标志着第三代半导体制造技术正式进入了一个全新的纪元。

　　英诺赛科CEO孙在亨表示，作为一家致力于推动第三代半导体创新革命的企业，我们需要与像ASML这样全球半导体领军的企业合作，采用更加先进的制造工艺，实现更加高的性能、良率和产出，在快速成长的各种应用领域（例如快充、TOF相机（Time-of-Flight Camera） 、智能手机、电动车、数据中心等）共同推出最先进的解决方案以及下个世代的氮化镓器件。

　　ASML全球副总裁，中国区总裁沈波指出，第三代半导体在全球市场有广阔的应用前景，阿斯麦会全力提供光刻解决方案和服务，支持英诺赛科在这一领域的发展。