今日，华卓精科将首发上会，冲刺科创板IPO。

　　据了解，华卓精科如果能成功上市，或将成为国产光刻机第一股。

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　　募资超7亿，加码研发

　　华卓精科成立于2012年，虽被誉为国产光刻机第一股，但公司不生产光刻机整机，而是聚焦EUV光刻机双工件台技术。

　　公司主要产品包括精密运动系统、光刻机双工件台模块、静电卡盘和隔振器等超精密测控设备部件以及晶圆级键合设备、激光退火设备等超精密测控设备整机，以及上述部分主要产品的技术开发服务。

　　华卓精科本次拟发行股票不超过3200万股，募集资金约7.35亿元，将用于半导体装备关键零部件研发制造项目、超精密测控产品长三角创新与研发中心建设、光刻机超精密位移测量及平面光栅测量技术研发项目等。

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　　中国破冰双工件台技术！

　　光刻机有三大核心部件，EUV光源、双工件台、光学镜头。其中技术壁垒最高、制成难度最大的是双工件台，成本占到整个光刻机成本的10%-20%。

　　此前，光刻机的双工件台技术被荷兰的ASML公司一手垄断，而华卓精科携手清华团队成功打破了双工件台技术壁垒，成为了全球第二，全国第一家掌握掌握EUV光刻机双工件台技术的厂商，实现了技术、双工件台零部件的完全自主化生产。

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　　对标ASML，理想芯制程达7nm

　　在技术水准、芯片制程高度上，华卓精科的双工件台与ASML公司的双工件台基本上位于同一水准。

　　华卓精科与上海微电子一直保持着良好的合作关系，上海微电子28纳米浸入式光刻机，采用的工件台正是华卓精科的双工件台。

　　据悉，该工件台最高精度可达1.7纳米，适用于65纳米以下的芯片制程，高速运作下理念可行的芯片制程水准达2纳米。

　　上海微电子28纳米光刻机是浸入式光刻机，因此可以通过水的多次折射缩短光波，实现更高精度的芯片投射，结合华卓精科的双工件台，可以实现7纳米芯片的自主化生产，前提是不计较时间、劳动、能源成本。

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　　客户单一，销售规模较小

　　华卓精科表示，目前公司光刻机双工件台产品客户单一。

　　目前华卓精科的光刻机双工件台仅有上海微电子一家客户，并且该产品仍处于小批量定制生产阶段，尚未实现规模化量产。

　　截至目前，华卓精科DWS系列光刻机双工件台累计发货4台，目前仍处于与上海微电子光刻机整机集成、测试阶段，尚未通过上海微电子最终验收。

　　业绩方面，2018年-2020年，华卓精科营收分别为8570.92万元、1.21亿元和1.52亿元；净利润分别为1512.36万元、2087.24万元和1242.83万元。

　　华卓精科表示，报告期内公司的晶圆级键合设备、激光退火设备和光刻机双工件台处于产品商业化初期，客户相对较少，尚未形成规模化产品销售，导致公司整体销售规模较小，销售结构尚未稳定，存在较大的变动。