9月17日，华卓精科于科创板成功过会，向“国产光刻胶第一股”再进一步。

　　华卓精科主营业务为超精密测控设备，产品包括精密运动系统、光刻机双工件台模块、静电卡盘、晶圆级键合设备、激光退火设备等，主要应用于集成电路制造、超精密制造、光学、医疗等行业。

　　“清华力量”加持，共享专利

　　华卓精科具有清华“背景”，公司控股股东朱煜是清华大学长聘教授，许多核心技术人员也是、来自清华。

　　目前，朱煜、张鸣已取得清华大学兼职批复，作为兼职人员在华卓精科处工作。

　　研发专利，截至 2021 年 6 月 30 日，公司拥有 198 项专利以及 1 项专利独占使用权。

　　其中，公司与清华大学共同所有162项专利技术以及1项独占实施许可专利，35项为华卓精科单独申请。

　　对于共同拥有的162项专利，公司与清华大学通过协议约定了公司具有该部分专利技术的独占实施权，清华大学具有收益分配的权利。

　　获超10轮融资

　　据不完全统计，华卓精科成立至今已获得超10轮融资，经历了种子轮、股权融资、A轮、七次定增、战略融资、B轮等融资过程。背后的投资阵容囊括了水木创投、中金公司、大华大陆投资、浑璞投资、红星美凯龙、国家集成电路产业投资基金（下称“国家大基金”）等一线机构。

　　华卓精科曾登陆过新三板，在公司挂牌新三板期间，共实施了5次定向增发，合计定增募资总额约为1.42亿元。

　　破冰双工件台技术！

　　光刻机有三大核心部件，EUV光源、双工件台、光学镜头。其中技术壁垒最高、制成难度最大的是双工件台，成本占到整个光刻机成本的10%-20%。

　　此前，光刻机的双工件台技术被荷兰的ASML公司一手垄断，而华卓精科携手清华团队成功打破了双工件台技术壁垒，成为了全球第二，全国第一家掌握掌握EUV光刻机双工件台技术的厂商，实现了技术、双工件台零部件的完全自主化生产。

　　募资超7亿，加码研发

　　华卓精科成立于2012年，虽被誉为国产光刻机第一股，但公司不生产光刻机整机，而是聚焦EUV光刻机双工件台技术。

　　公司主要产品包括精密运动系统、光刻机双工件台模块、静电卡盘和隔振器等超精密测控设备部件以及晶圆级键合设备、激光退火设备等超精密测控设备整机，以及上述部分主要产品的技术开发服务。

　　华卓精科本次拟发行股票不超过3200万股，募集资金约7.35亿元，将用于半导体装备关键零部件研发制造项目、超精密测控产品长三角创新与研发中心建设、光刻机超精密位移测量及平面光栅测量技术研发项目等。