2月2日，合肥芯碁微电子装备股份有限公司科创板IPO注册获中国证监会批准，安徽自贸区合肥片区高新区块迎来今年首家科创板注册获批企业。

　　芯碁微装成立于2015年，坐落于合肥高新区集成电路产业基地，公司专业从事以微纳直写光刻为技术核心的直接成像设备及直写光刻设备的研发和生产。截至目前，公司已获得了71项技术专利，获批建立了“外国专家工作室”和“第十批省级博士后科研工作站”，并多次荣获国家、省、市大奖。

　　首家国产光刻机制造企业过会

　　三年来业绩表现不俗

　　芯碁微装是一家于2015年6月成立的年轻公司，主要从事以微纳直写光刻为技术核心的直接成像设备及直写光刻设备的研发、制造、销售以及相应的维保服务，主要产品及服务包括PCB直接成像设备及自动线系统、泛半导体直写光刻设备及自动线系统、其他激光直接成像设备等。

　　据了解，国内A股上市公司中，尚无与公司产品应用领域完全相同的企业。招股说明书显示，与公司产品相近的境内外上市公司分别是日本SCREEN、瑞典Mycronic、美国KLA-Tencor、美国Rudolph、台湾川宝科技、大族激光。

　　芯碁微装此次拟募集资金4.73亿元，其中，2.08亿元用于高端PCB激光直接成像（LDI）设备升级迭代项目，9380.00万元用于晶圆级封装（WLP）直写光刻设备产业化项目，1.08亿元用于平板显示（FPD）光刻设备研发项目，6355.00万元用于微纳制造技术研发中心建设项目。2017年至2020年1-6月，芯碁微装未进行股利分配。

　　在合肥“国资委系”的大力支持下，芯碁微装2017-2019年的业绩表现十分耀眼：短短三年间，净利扭亏为盈，从-685万元迅速突破至4,763万元，呈增长趋势。这三年里芯碁微装都做了什么？

　　这三年里芯碁微装只做了一件事：“直写光刻技术”。

　　直写光刻设备打破封锁

　　从PCB向OLED跨越 弥补中国产业空白

　　光刻是利用光学—化学反应，将设计好的微图形结构，转移到覆有感光材料的晶圆、玻璃基板、覆铜板等基材表面，这三种基材面板对应的最终电子器件分别是：芯片、显示面板和印制电路板（PCB）。其中，制造PCB的直写光刻设备由计算机控制高精度光束，无需掩膜就能直接扫描成像。相较传统掩膜光刻，其不仅省去了多道工序流程，还大幅提升了光刻精度、良品率两大核心指标。

　　由于受到《瓦纳森协定》限制，中国企业无法购买技术最先进的设备，直写光刻技术在中国并不普及。在此背景下，芯碁微装苦研直写光刻技术，终于做出了一款“ACURA280激光直接成像设备”，该设备能够用于PCB最高端的基板光刻，一举填补该领域空白。芯碁微装因此顺利跻身于行业第一梯队，自给自足，不再受《瓦纳森协定》限制，甚至在国际舞台上与以色列的Orbotech、日本的ORC展开较量。随着PCB产业结构不断升级，国产直接成像设备有望加速实现对行业内传统曝光设备以及进口 PCB 直接成像设备的替代。

　　除PCB制造业务，芯碁微装也将直写光刻技术押注在更有前景的OLED领域，OLED与PCB相比对精度的要求更高。与合肥打造“IC之都”的蓝景不谋而合。发行人于 2018 年推出应用在FPD 低世代产线的国内首条 OLED 显示面板直写光刻自动线系统（LDW-D1），光刻精度可达 0.7μm，成功获得面板客户的产线验证，给中国的OLED制造带来了希望。

　　在 IC 掩膜版制版及 IC 前道制造领域，经过多年的深耕与积累，芯碁微装累计服务近 70 家客户，芯碁微装直写光刻设备的客户主要为中国科学院半导体研究所、中国工程物理研究院激光聚变研究中心、中国电子科技集团公司第十一研究所、中国科学技术大学、华中科技大学、广东工业大学等高校及科研院所，通过优秀产品帮助客户在提升产品品质和降低生产成本的同时实现数字化、无人化、智能化发展。

　　从PCB到OLED再到IC领域，这个年轻的公司在一步步升级直写光刻技术。秉承“成为国产光刻机世界品牌”的奋斗目标，在“依托自有核心技术，加大研发力度，开拓新型应用领域”及“整合行业资源，打造高端装备产业供应链”的战略发展方向下，专注于微纳直接成像设备及直写光刻设备领域，力争成为微纳直写光刻领域的国际领先企业。

　　芯碁微装多次被诉“专利侵权”

　　“老东家”撤诉背后或有秘情

　　对于科创板公司而言，科研水平高低和专利成果多少是决定其未来能否持续成长的关键，而欲登陆科创板的芯碁微装却在这方面存在一定瑕疵，其与合肥芯硕半导体有限公司（下称“合肥芯硕”）之间发生的专利纠纷案，暴露了公司在研发能力上的不足或疑点。

　　说起合肥芯硕，它与芯碁微装的渊源是颇深的。招股书披露，芯碁微装的诸多核心成员原先就任职于合肥芯硕。比如芯碁微装的董事长程卓，2015年4月至6月曾参与合肥芯硕重整事宜，被当时的合肥芯硕股东会选为董事长、财务总监；又比如芯碁微装现总经理方林，原先就是合肥芯硕的技术骨干，担任过合肥芯硕的研发部总监、技术部副总经理；另外还有芯碁微装的现任总工程师何少锋，原先就是合肥芯硕的研发部总工程师。既然双方之间关系曾经很密切，可为何两者之间会发生专利纠纷呢？

　　像许多“老东家”状告“单飞”后的新成员一样，合肥芯硕自2017年4月起，多次以侵害其专利权为由对芯碁微装的核心技术人员（原先也是合肥芯硕核心技术人员）方林、何少锋提起了诉讼，而且这类诉讼还发生了很多次，时间分别为2017年4月、9月，2018年5月、2019年1月。但需要注意的是，在往年诉讼中，合肥芯硕都因各种各样的理由最终败诉了。

　　根据《裁判文书网》披露的文件显示，最初合肥芯硕是向方林、何少锋个人提起诉讼，但法院认为因合肥芯硕未约定竞业限制补偿金的金额，且超过三个月未向方、何二人支付竞业限制补偿金，且合肥芯硕未在法定时效内以违反竞业限制义务为由向方、何二人主张过违约责任，因此合肥芯硕的诉讼请求被法院驳回。

　　此后，合肥芯硕又向芯碁微装提起诉讼，主要诉求是合肥芯硕认为自己的11项专利被侵权，但《红周刊》记者在文书中看到，法院判定合肥芯硕涉案的11项专利不是用于制造芯片加工设备的方法，而是芯片加工设备在工作过程中可能需要使用的方法，而芯碁微装的产品并不属于使用该11项专利方法制造出来的产品，而是可能使用了这些专利方法来加工芯片的芯片制造加工设备，故合肥芯硕的诉求被驳回。

　　然而，“不是用于制造芯片加工设备的方法，而是芯片加工设备在工作过程中可能需要使用的方法”的说法，却在一定程度上还是反映了芯碁微装的产品涉及到了合肥芯硕的专利。而对于连续败诉的结果，合肥芯硕显然并不满意，这一点可从其之后几年多次提起上诉的行为仍可看出。

　　意外的是，合肥芯硕“锲而不舍”的上诉行为却突然在2019年12月戛然而止。据“裁判文书网”披露的信息显示，2019年1月之后合肥芯硕曾不服安徽省高级人民法院的判决，向最高人民法院申请再审，但在审查过程中，合肥芯硕却在2019年12月12日突然书面提出撤回再审申请。

　　要知道，在此前的上诉中，合肥芯硕均以失败告终，并承担了不少的诉讼费用，可即便如此其仍然选择上诉，说明审判结果并不怎么令人信服，可就在其已经提交最高人民法院并进入审查过程中，却在芯碁微装提交上市申请的关键期撤诉了，这一突然转向的背后原因令人好奇。

　　在《红周刊》记者调查过程中，一位不具名知情人向记者透露，“合肥芯硕此次提出撤回再审申请，是因为双方已经达成了和解，该案最终以和解方式结案。”可让人疑惑的是，这一说法并没有记录在裁判文书网的公开文件中，让人怀疑双方很可能是寻求了私下和解方式。

　　私下和解背后或有“隐情”

　　历经多年的专利纠纷，双方争议最终以私下和解而告终，这一结果是非常“耐人寻味”的。从常理来看，如果不是有足够证据证明自己的专利被侵权，合肥芯硕不可能一直申诉下去，而芯碁微装如果确实够“理直气壮”的话，也不会接受上述知情人所谈到的“私下调解”方式，理论上，其更愿意寻求公开公正结果，因为这样可以避免未来继续出现专利纠纷的可能性。

　　需要注意的是，在中国庭审公开网关于此案的开庭录像中，有几处细节印证了芯碁微装与合肥芯硕的专利“剪不断理还乱”的关系。

　　首先，2019年3月21日开庭的庭审录像显示，合肥芯硕代理律师说明天津市汉沽公证处（2017）津汉沽证字第280号公证书（下称“280号公证书”）记载，在方林给程卓的电子邮件关于商业计划书和请示汇报中，“明确将合肥芯硕的11项专利列入合肥芯碁商业计划书”的事实。

　　此外，280号公证书还证明方林在（电子邮件）汇报请示中，（电子邮件的内容）也明确写道：“芯硕的技术和产品相较于国内竞争对手是有一定口碑的，其无形资产的价值恰恰是芯碁微装所需要的，虽然我们团队掌握了芯硕的技术，我们也对外声称我们可以绕开芯硕的专利保护，但是芯碁微装是无法摆脱芯硕的痕迹的。”

　　而且，在二审期间，合肥芯硕还提交了（2019）皖合衡公证字第880号公证书及其附件作为新证据，用以证明QQ电子邮箱214×××＠ｑｑ。ｃｏｍ的用户确实为被上诉人的法定代表人程卓。

　　当然，在此前案件审理中，合肥芯硕以败诉而告终，但对于这些证据的真实性，法院还都给予了认可，从这点来看，芯碁微装在生产经营中确实用到了合肥芯硕的技术。

　　合肥芯硕为何在坚持了两年多之后，突然接受私下和解？背后又有怎样的秘密未被披露？因为从常理来看，和解意味着原告被告之间一定达成了一些相互之间认可的协议。那么，芯碁微装究竟开出了怎样的条件让合肥芯硕“欣然接受”？

　　从时间点上来看，2020年5月13日，芯碁微装首次发布招股说明书申报稿，而2019年12月12日，合肥芯硕提出了撤诉。这一时间点的背后或是合肥芯硕在当时可能已经知道了芯碁微装的上市计划，因为一般来说，在企业发布招股说明书之前需要改制，而改制后则需要经历券商3个月甚至更长的的辅导期，完成之后就是制作上市申报材料期，一般也需要两三个月时间，因此前两个环节最快时间也至少得半年左右。这意味合肥芯硕在2019年12月底撤诉，很可能是芯碁微装与其达成一些“秘密协议”，让合肥芯硕获得了其认可利益，但疑点在于，如此影响投资人利益的“秘密协议”，是否需要在招股书中公开披露或进行合理解释呢？如果不是彻底解决专利权归属问题，一旦上市后再出现纠纷，很可能影响的就不是一家公司的问题，而是所有投资人的权益都可能会受到一定影响。

　　有意思的是，《红周刊》记者曾就专利侵权事件向合肥芯硕了解相关情况，但合肥芯硕的表现却是相当警惕的。记者拨通天眼查披露的合肥芯硕公开电话，接电话的女士称自己原先只是合肥芯硕的后勤人员，现在已经不在合肥芯硕了，并不知道合肥芯硕的相关情况。此后，《红周刊》记者又拨通了合肥芯硕官网的联系电话，接听方同样是一名女性，当记者询问这是否是合肥芯硕公司，对方予以了否认，在记者表明自己的记者身份后，对方突然挂断电话，此后多次拨打再无人接听。此外，《红周刊》记者还电话联系到合肥芯硕大股东中夏芯基（上海）科技有限公司，接听方同样以不清楚公司的具体情况为由，匆匆结束对话。

　　疑点在于，天眼查APP显露的公司公开电话为何竟是企业的一名已退休后勤人员电话，这种安排是否符合工商信息相关披露规定？介绍商品、招揽客户为目的的官网上公开披露的电话，接听方竟干脆否认是企业电话。种种异常现象，实在是令人不解的。