华为公开“半导体装置以及半导体装置的制作方法”专利
2024-02-05
来源:集微网
企查查显示,近日华为技术有限公司新增多条专利信息,其中一条名称为“一种半导体装置以及半导体装置的制作方法”,公开号为CN117501441A。
专利摘要显示,本申请实施例公开了一种半导体装置以及半导体装置的制作方法。一种半导体装置包括:硅通孔以及依次层叠的第一芯片,第二芯片和第五绝缘层。第一芯片包括具有第一开口的第一绝缘层;第一开口暴露出第一电连接层。硅通孔包括相连的第一段硅通孔和第二段硅通孔;第一段硅通孔位于第一开口中,第一段硅通孔的底部为第一电连接层;第二段硅通孔贯穿第二芯片,第二段硅通孔的底部连接第一段硅通孔,顶部连接第三电连接层;第一金属通孔的底部连接第二电连接层,顶部连接第三电连接层。第一电连接层和第二电连接层通过硅通孔、第一金属通孔和第三电连接层形成电连接。实施本申请实施例,可以减小或避免因为电荷堆积,造成的硅通孔刻蚀过程中硅横向刻蚀。
据悉,截至2022年底,华为持有超过12万项有效授权专利,主要分布在中国、欧洲、美洲、亚太、中东和非洲。其中,华为在中国和欧洲各持有4万多项专利,在美国持有22,000多项专利。华为2023年前三季度研发费用为1149.91亿元,预计10年间累计研发费用可突破万亿元。根据欧盟2023年最新数据,华为研发费用排名世界第五。
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