| FinFET器件结构发展综述 | |
| 所属分类：技术论文 | |
| 上传者：aetmagazine | |
| 文档大小：746 K | |
| 标签： 场效应晶体管 FinFET 器件结构 | |
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| 文档介绍：随着集成电路技术日新月异的发展，器件尺寸不断缩小，当场效应晶体管沟道缩短至22 nm以后，传统平面场效应晶体管不再满足发展的需求。FinFET是一种新型的三维器件，由于良好的性能目前被广泛研究应用。主要介绍了FinFET器件的基础结构以及基础工艺流程，以及在基础结构上所发展起来的一些改良后的FinFET器件结构。最后结合实际对未来FinFET器件结构的发展寄予展望。 | |
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