自科创板推出以来，一大批集成电路企业积极备战科创板，目前包括安集科技、中微公司、澜起科技、华兴源创、睿创微纳、乐鑫科技、晶晨股份、以及上海晶丰明源在内的多家企业已经成功闯关。不过在这些企业中，鲜少有涉及半导体设备的相关企业。

　　值得关注的是，目前一家来自北京的光刻机生厂商也计划登录科创板。近日，北京证监局披露了关于北京华卓精科科技股份有限公司（以下简称“华卓精科”）首次公开发行股票并在科创板上市辅导工作报告(第三期)。

　　根据官网显示，华卓精科注册资金9600万， 成立时间为2012年5月9日，由清华IC装备团队在清华大学及其下属“北京-清华工业技术研究院”和02专项的支持下创立，主要面向国内外的IC制造、光学、超精密制造等行业，致力于为行业提供整机装备、核心子系统、关键零部件和定制服务，主营产品包含高端整机、超精密运动系统、精密仪器设备和高端特种制造等方面。现在已经成功推出了光刻机双工件台、精密隔振、超精密运动系统、关键零部件等系列化产品。

　　华卓精科表示，其核心战略产品光刻机双工件台，打破了ASML公司在工件台上的技术垄断，成为世界上第二家掌握双工件台核心技术的公司。资料显示，华卓精科生产的光刻机双工件台主要应用于65nm及以下节点的ArF干式、浸没式步进扫描光刻机、KrF步进扫描光刻机，单台系列产品应用于i线、g线步进扫描光刻机及封装光刻机等。

　　2018年半年报显示，华卓精科上半年实现营收3193.03万元，同比增长44.53%；实现归属于挂牌公司股东的净利润683.67万元，同比下滑10.34%，净利润减少的主要原因是2018年公司加大研发投入，自主研发支出比上年同期增长374万元，费用化后导致净利润减少。

　　事实上，早在2015年，华卓精科曾在新三板挂牌上市，但在2019年2月13日终止新三板挂牌。而在退市之前，华卓精科分别在2018年10月和11月分别进行了8700万元的战略融资以及7587.5万元的定向增发，其中增发募集的7587.50万元资金，主要用于公司半导体装备关键零部件研发制造项目、补充流动资金、偿还银行贷款、购买土地使用权。