直流微电流标准源的研究进展
电子技术应用
李泽众，冯荣尉，万毕乐
北京东方计量测试研究所
摘要： 直流微电流标准源广泛用于电学仪器校准、半导体测试、静电检测等领域，涉及电流负反馈调节、等电位屏蔽等关键技术。直流微电流标准源主要有三种基本实现方式：电阻式、电容式和电离式，每种技术都有其独特的优势和局限性。对近年来国内外直流微电流标准源研究现状进行了综述，对国内外直流微电流标准源的现状进行调查，并指出我国在这一领域的研究起步较晚，与国际先进水平存在差距。
中图分类号：TM933 文献标志码：A DOI: 10.16157/j.issn.0258-7998.256787
中文引用格式： 李泽众，冯荣尉，万毕乐. 直流微电流标准源的研究进展[J]. 电子技术应用，2026，52(1)：8-13.
英文引用格式： Li Zezhong，Feng Rongwei，Wan Bile. Research progress of direct current micro-current standard sources[J]. Application of Electronic Technique，2026，52(1)：8-13.
中文引用格式： 李泽众，冯荣尉，万毕乐. 直流微电流标准源的研究进展[J]. 电子技术应用，2026，52(1)：8-13.
英文引用格式： Li Zezhong，Feng Rongwei，Wan Bile. Research progress of direct current micro-current standard sources[J]. Application of Electronic Technique，2026，52(1)：8-13.
Research progress of direct current micro-current standard sources
Li Zezhong，Feng Rongwei，Wan Bile
Beijing Orient Institute of Measurement and Test
Abstract： The direct current micro-current standard source is widely used in fields such as calibration of electrical instruments, semiconductor testing, and electrostatic detection, involving key technologies like current negative feedback regulation and equipotential shielding. There are mainly three basic implementation methods for the direct current micro-current standard source: resistive, capacitive, and ionization. Each technology has its own unique advantages and limitations. This paper reviews the research status of domestic and foreign direct current micro-current standard sources in recent years, investigates the current situation of domestic and foreign direct current micro-current standard sources, and points out that China started relatively late in this field and there is a gap compared with the international advanced level.
Key words : weak current；current source；semiconductor testing
引言
一般定义小于10-6 A的电流为微电流的范畴[1]。直流微电流的测量，在国防工业、生物技术、航天、半导体等领域有着广泛的应用。
在空间探测中，航天器内带电效应，主要由能量范围0.1 MeV到10 MeV的高能电子引起，其在内部电介质的电荷沉积率高于泄放率，就会发生电荷沉积，累积到一定程度有可能产生放电，影响航天器的安全运行[2]。统计表明，内带电效应引起的航天器在轨异常占到了所有放电引起异常总数的50%，同时占到了所有空间环境造成航天器异常的25%。测量航天器内部介质的充电电流一方面可以感知航天器内部电介质的充电情况，另一方面也可以定性或定量地给出引起内带电效应的外部高能电子辐射环境的变化。
在半导体测试中，随着我国半导体产业的快速发展，半导体器件的复杂性和功能日益增加，对微电流的精确测量需求也日益增长。半导体器件在设计、制造和封装测试环节中，都需要用到直流微电流源表技术。芯片测试技术及设备研发作为半导体行业产业链中的关键技术，如何高效、准确地完成芯片性能测试，是众多厂商在量产测试中需要解决的难题。
根据《国防技术监督管理条例》的规定，在国防工业研究生产中使用的仪器，都需要定期检定[3]。此外，在半导体测试中，半导体器件的电流测量通常需要很高的精度，微电流标准源能够提供精确的微安级甚至更小的电流，以此来校准电流表等测量工具。为了对直流微电流的测量装置和仪器进行定期检定，直流微电流标准源成为重要的课题。
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作者信息：
李泽众，冯荣尉，万毕乐
（北京东方计量测试研究所，北京 100094）
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