便于获取所有样本类型的数据

　　JEOL Ltd. （TOKYO:6951）（总裁兼首席运营官：Izumi Oi）于2021年11月宣布开发并推出新型扫描电子显微镜（SEM）——JSM-IT510系列。

　　产品开发背景

　　扫描电子显微镜被广泛用于纳米技术、金属、半导体、陶瓷、医学和生物学等各种领域。此外，SEM的应用范围正在不断扩大，不仅涉及基础研究，还涵盖制造现场的质量控制。因此，对更快、更轻松地获取SEM图像和分析结果数据的需求有所增加，例如能量色散X射线光谱（EDS）。

　　为了满足这些需求并提高产量，我们开发出JSM-IT510系列，该系列进一步提升了我们备受青睐的InTouchScope?的可操作性。借助新增的Simple SEM（简便SEM）功能，您现在可以将日常工作（重复性操作）“交给”仪器。

　　主要特性

　　新型“Simple SEM”功能

　　Simple SEM功能使用户能够方便地选择SEM图像的采集条件和视场角，然后自动采集SEM图像。日常工作可以更高效地完成。

　　新型“低真空混合二次电子探测器（LHSED）”

　　这种新型探测器可收集电子和光子信号，即使在低真空条件下也能提供具有高信噪比和增强地形信息的图像。

　　集成扫描电子显微镜（SEM）和能量色散X射线光谱仪（EDS）系统。

　　SEM和EDS的集成得到了进一步发展，Live Map（实时地图）功能可以实时显示观测视场角的元素分布图。

　　新的“实时3D”功能

　　当进行SEM观察以获得非均匀性和深度信息时，可以现场构建3D图像。

　　实时分析功能

　　嵌入式EDS系统可在图像观测期间显示实时EDS光谱，以实现高效的元素分析。

　　新的阶段导航系统LS功能

　　新的阶段导航系统LS可以获得四倍于传统型号（200 mm x 200 mm）的区域光学图像。该功能使用户能够获取观测样本的光学图像，并通过简单点击光学图像移动到所需的观测区域。

　　Zeromag

　　使用我们的Zeromag功能，样本导航比以往任何时候都更简单。您可以使用光学图像或支架图形定位成像区域或指定多个视场角上的分析位置。

　　显示特征X射线生成深度

　　有助于快速了解样本的分析深度（参考）。

　　SMILE VIEW?实验室，能够对图像和分析数据进行综合管理。

　　便于在短时间内生成从收集的SEM图像到元素分析结果的所有数据报告。

　　目标销量

　　200台/年