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高集成度多标记光刻版版图的快速处理技术
所属分类：技术论文
上传者：aetmagazine
文档大小：569 K
标签：微光刻高集成度快速排布
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文档介绍：介绍了一种高集成度多标记光刻版版图的快速处理技术。其中包括以下四个模块： chip芯片排布模块、标记排布模块、芯粒数统计模块和自动版号模块。在版图编辑工具L-edit中使用这些模块可以大幅提升微光刻中的高集成度多标记光刻版版图的排布效率并提高准确度，从而有效缩短掩膜版的生产周期。
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