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ASML新款NXE:3800E EUV光刻机引入部分High-NA机型技术

3 月 27 日消息,据荷兰媒体 Bits&Chips 报道,ASML 官方确认新款 0.33NA EUV 光刻机 ——NXE:3800E 引入了部分 High-NA EUV 光刻机的技术,运行效率得以提升。 根据IT之家之前报道,NXE:3800E 光刻机已于本月完成安装,可实现 195 片晶圆的每小时吞吐量,相较以往机型的 160 片提升近 22%。 下一代光刻技术 High-NA(高数值孔径) EUV 采用了更宽的光锥,这意味着其在 EUV 反射镜上的撞击角度更宽,会导致影响晶圆吞吐量的光损失。因此 ASML 提高了光学系统的放大倍率,从而将光线入射角调整回合适大小。 但在掩膜尺寸不变的情况下,增加光学系统放大倍率本身也会因为曝光场的减少影响晶圆吞吐量。因此 ASML 仅在一个方向上将放大倍数从 4 倍提升至 8 倍,这使得曝光场仅用减小一半。 而为了进一步降低曝光时间,提升吞吐量,有必要提升光刻机载物台的运动速率。ASML 工程师就此开发了同时兼容现有 0.33NA 数值孔径系统的新款快速载物台运动系统。

发表于:2024/3/28 上午9:15:30

Instrospect 推出全球首个GDDR7显存测试系统

Instrospect 推出全球首个 GDDR7 显存测试系统

发表于:2024/3/28 上午9:15:28

美国FCC驳回SpaceX频谱申请,移动卫星通讯服务受阻

3 月 28 日消息,SpaceX 一年多之前向美国联邦通信委员会(Federal Communications Commission)就卫星通信所需频谱提交了一项申请,希望 FCC 允许其在 SpaceX Gen2 非地球静止轨道(NGSO)卫星系统中添加移动卫星服(MSS)系统。 在这份申请文件中,SpaceX 希望通过修改授权,使其 Gen2 NGSO 系统能够在以下频段运营: 1.6/2.4 GHz 频段 2 GHz 频段 2020-2025 MHz (地球-空域) 频段

发表于:2024/3/28 上午9:15:26

Sora一旦推出,峰值算力需要75万张H100GPU

Sora一旦推出,峰值算力需要75万张H100GPU

发表于:2024/3/28 上午9:15:25

SK海力士:HBM今年销售额将占整体内存逾一成

SK 海力士:HBM 今年销售额将占整体内存逾一成,明年供应继续紧张

发表于:2024/3/28 上午9:15:15

TIP开启Wi-Fi自动频率协调软件组的国际开源计划

TIP开启Wi-Fi自动频率协调软件组的国际开源计划

发表于:2024/3/28 上午9:15:10

小米与卢米蓝合作共建OLED关键材料与器件联合实验室

小米与卢米蓝合作共建 OLED 关键材料与器件联合实验室

发表于:2024/3/28 上午9:15:09

Intel Arc显卡首次进入嵌入式领域

Intel Arc显卡首次进入嵌入式领域 Intel Arc 锐炫显卡自诞生以来,已经先后进入桌面、笔记本、工作站和核显四大领域,如今它又开辟了新的战场——嵌入式。 Intel 最新提交的 Linux 图形内核代码里,出现了两款新的 Arc 产品,一个是 0x56BE Arc A750E,另一个是 0x56BF Arc A580E。 虽然缺乏具体资料,但是目前可以确认,它们俩都是面向嵌入式市场的,比如工控、商业、标牌、边缘等等。

发表于:2024/3/28 上午9:15:08

加拿大将加强对中国在AI、量子计算等领域的外资审查力度

加拿大政府将加强人工智能、量子计算和空间技术等高科技领域的外国投资审查。 3 月 26 日晚,据报道,加拿大工业部长弗朗索瓦 · 菲利普 · 商鹏飞 ( Francois-Philippe Champagne ) 表示,根据最新修订的《加拿大投资法》规定,非加拿大公司在投资或收购 AI 、量子计算等关键技术领域的加拿大实体之前,必须提前向政府发出通知。

发表于:2024/3/28 上午9:15:07

美光投资43亿元扩建西安封装和测试工厂

美光投资43亿元扩建西安封装和测试工厂

发表于:2024/3/28 上午9:15:05

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